AI時代の半導体需要拡大を支える、薬液中不純物ナノ粒子の高感度分析サービス開始
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尚無 AI 分析資料。
常見問題
- Q: 株式會社東麗研究中心（TRC）的總公司部位於日本何處？其現任社長是誰？
- A: 株式會社東麗研究中心（TRC）部位於東京都中央區日本橋本町一丁目7番2號，現任社長為真壁芳樹先生。
- Q: 東麗研究中心（TRC）開發的哪一項技術能提升半導體製造藥液的純度分析感度？
- A: 東麗研究中心透過高度優化誘導耦合電漿質譜儀（icp-ms）的單一微小粒子分析法（spicp-ms），開發出能高感度分析雜質金屬奈米粒子濃度與粒徑分佈的委託分析服務。
- Q: 單一微小粒子分析法（spicp-ms）對於液體中金屬奈米粒子的最低檢測濃度達到多少？
- A: 單一微小粒子分析法（spicp-ms）能夠檢測分散於液體中、濃度低至數ppt（即100億分之一%）極微量的金屬奈米粒子。
- Q: 在直接測定市售的高純度丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA）時會檢測出哪些金屬奈米粒子？
- A: 若直接測定市售的高純度丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA），會檢測出大量的鋁（Al）及鐵（Fe）等金屬奈米粒子雜質。
- Q: 經純化後的丙二醇 single 溶劑中，檢測出的鐵（Fe）粒子濃度達到多高之感度？
- A: 經過適當純化後的丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA）中，檢測出的鐵（Fe）粒子換算為溶劑中濃度僅為0.04 ppt，展現極高感度。