東麗研究中心推出藥液中雜質奈米粒子高靈敏度分析服務，支援AI時代不斷擴大的半導體需求
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AI 摘要（NQ 加工版）
東麗研究中心（TRC）開發了一項新技術，用於高靈敏度分析半導體製造過程中化學品中的雜質金屬奈米粒子。該公司已推出利用此技術的委託分析服務，旨在提高半導體良率和純度。
AI 分析
常見問題
- Q: 東麗研究中心推出的高靈敏度分析服務主要針對半導體製造中哪一類雜質進行檢測？
- A: 東麗研究中心推出的分析服務主要針對半導體製造用化學品中的金屬奈米粒子雜質，可精確測量其濃度與粒徑分佈，特別適用於檢測鋁（Al）、鐵（Fe）等金屬奈米粒子，靈敏度可達0.04 ppt。
- Q: 東麗研究中心如何提升spICP-MS分析技術的靈敏度與穩定性？
- A: 東麗研究中心透過優化樣品製備溶劑的純度、嚴格控制設備內部清潔度，並針對不同化學品與目標粒子調整測量條件，建構出能最大化發揮spICP-MS效能的分析系統，實現對極微量金屬奈米粒子的高靈敏度與穩定性檢測。
- Q: 在東麗研究中心的分析案例中，未經純化的市售PGMEA溶劑中檢測到哪些金屬奈米粒子？
- A: 在未經純化的市售PGMEA溶劑中，東麗研究中心檢測到大量鋁（Al）與鐵（Fe）等金屬奈米粒子，顯示即使標示為高純度的化學品仍可能含有影響半導體製程的雜質奈米粒子。
- Q: 東麗研究中心使用何種溶劑作為分析範例來驗證其技術的有效性？
- A: 東麗研究中心以半導體製造過程中常用的光阻劑溶劑與清洗劑丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA）作為分析範例，透過比較純化前後的樣品，驗證其高靈敏度分析技術能有效檢測極微量金屬奈米粒子。
- Q: 經純化後的PGMEA溶劑中檢測到的鐵（Fe）奈米粒子濃度為何？
- A: 在經過純化處理的PGMEA溶劑中，東麗研究中心檢測到的鐵（Fe）奈米粒子濃度低至0.04 ppt，展現該分析技術在極低濃度下仍具備高度靈敏與可靠的檢測能力。