MECCANISMO・LAB 實現 120℃ 大氣壓晶圓接合，基於 NIMS 技術開發 6 吋全自動接合設備
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AI 摘要（NQ 加工版）
MECCANISMO・LAB 基於 NIMS 的低溫大氣壓接合技術，開發了可在 120℃ 大氣壓下運作的 6 吋全自動晶圓接合設備。這項發展解決了傳統挑戰，並啟動了實用驗證，使得熱敏感和異質材料的接合成為可能。