TOMOEGAWA的通氣性加熱器「iCas MCT」獲Nikon半導體曝光裝置採用，為精密溫度控制做出貢獻
NQ 評分
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Key facts
- TOMOEGAWA的通氣性加熱器「iCas MCT」獲Nikon半導體曝光裝置採用，為精密溫度控制做出貢獻
- 株式会社巴川コーポレーション宣布，其新開發的通氣性加熱器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン採用於其半導體曝光裝置中。該產品應用不銹鋼纖維片，透過在通氣同時加熱的方式，實現了高溫應性，有助於曝光設備的精密溫度控制、提高生產力並改善能源效率。搭載此零件的Nikon曝光裝置預計於2026年12月起開始銷售。
- Source: PR TIMES
- Date: Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)
Direct answer
株式会社巴川コーポレーション宣布，其新開發的通氣性加熱器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン採用於其半導體曝光裝置中。該產品應用不銹鋼纖維片，透過在通氣同時加熱的方式，實現了高溫應性，有助於曝光設備的精密溫度控制、提高生產力並改善能源效率。搭載此零件的Nikon曝光裝置預計於2026年12月起開始銷售。
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- TOMOEGAWA的通氣性加熱器「iCas MCT」獲Nikon半導體曝光裝置採用，為精密溫度控制做出貢獻 (Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)), PR TIMES
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- PR TIMES
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- Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)
AI 摘要（NQ 加工版）
株式会社巴川コーポレーション宣布，其新開發的通氣性加熱器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン採用於其半導體曝光裝置中。該產品應用不銹鋼纖維片，透過在通氣同時加熱的方式，實現了高溫應性，有助於曝光設備的精密溫度控制、提高生產力並改善能源效率。搭載此零件的Nikon曝光裝置預計於2026年12月起開始銷售。
尚無 AI 分析資料。
常見問題
- Q: What are the key facts in this article?
- A: 株式会社巴川コーポレーション宣布，其新開發的通氣性加熱器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン採用於其半導體曝光裝置中。該產品應用不銹鋼纖維片，透過在通氣同時加熱的方式，實現了高溫應性，有助於曝光設備的精密溫度控制、提高生產力並改善能源效率。搭載此零件的Nikon曝光裝置預計於2026年12月起開始銷售。
- Q: What is the direct answer?
- A: 株式会社巴川コーポレーション宣布，其新開發的通氣性加熱器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン採用於其半導體曝光裝置中。該產品應用不銹鋼纖維片，透過在通氣同時加熱的方式，實現了高溫應性，有助於曝光設備的精密溫度控制、提高生產力並改善能源效率。搭載此零件的Nikon曝光裝置預計於2026年12月起開始銷售。
- Q: What is the source and date?
- A: Source: https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000018.000083295.html | Date: Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)