TOMOEGAWA的通氣性加熱器「iCas MCT」獲Nikon半導體曝光裝置採用，為精密溫度控制做出貢獻

AI 摘要（NQ 加工版）

株式会社巴川コーポレーション宣布，其新開發的通氣性加熱器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン採用於其半導體曝光裝置中。該產品應用不銹鋼纖維片，透過在通氣同時加熱的方式，實現了高溫應性，有助於曝光設備的精密溫度控制、提高生產力並改善能源效率。搭載此零件的Nikon曝光裝置預計於2026年12月起開始銷售。