牛尾電機啟動UX-4系列晶圓曝光設備LED光源版「UX-44101SCB / UX-45114SCB」接單
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AI 摘要（NQ 加工版）
牛尾電機將於2026年7月開始受理搭載LED光源的新款晶圓曝光設備「UX-44101SCB」與「UX-45114SCB」訂單。該產品在實現與水銀燈管同等照度的同時，延長了光源壽命並降低運作成本，有助於提升功率半導體與MEMS元件的生產效率。
AI 分析
常見問題
- Q: ウシオ電機が発表したUX-4シリーズの新製品とは？
- A: LED光源を搭載したウェハ向け一括投影露光装置「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」です。
- Q: 新製品の主な特長は何ですか？
- A: LED光源の採用により、従来の水銀ランプと同等の高照度を維持しつつ、瞬時点灯・消灯が可能になり、光源の長寿命化を実現しました。これによりランニングコストを大幅に削減できます。
- Q: どのような用途に適していますか？
- A: 主にパワー半導体、MEMS、通信・光電融合関連デバイスの生産に適しており、特にBumpやWLP工程での高スループット化に貢献します。
- Q: 受注開始はいつからですか？
- A: 2026年7月より受注を開始します。
- Q: 環境性能についてはどうですか？
- A: 環境規制に対応し、水銀を使用しないLED光源を採用することで環境負荷を低減しています。