东京威力科创组件股份有限公司（总公司：东京都涩谷区，代表取缔役社长：宫本 隆义，以下简称「TED」）与从事电子零件分析解析及可靠性评估服务等的 ITES 股份有限公司（总公司：滋贺县大津市，代表取缔役社长：五十岚 靖行，以下简称「ITES」），特此宣布双方将在 SiC（碳化硅）组件的潜在缺陷检测解决方案领域进行合作。 两家公司将通过开发与销售新产品「SiC 潜在缺陷检测设备／通电劣化仿真器 ITS-SCX100」，该产品可借由 UV 雷射照射扩展并可视化 SiC 晶圆内的潜在结晶缺陷，借此强化该解决方案的供应体制，并支持以电力电子领域为主的客户开发高可靠性的组件。 ■背景 为实现节能与碳中和，SiC 组件在汽车、工业设备、再生能源等多样化领域的应用正持续推进。另一方面，由 SiC 特有的结晶缺陷（BPD：基底平面差排）所引起的通电劣化，已成为影响长期可靠性的重要技术课题。 这些潜在缺陷，使用传统的检测方法难以发现，且在评估材料或制程条件变更的效果时，样本测试通常需要耗时数月。其结果导致开发周期延长及评估成本增加，成为 SiC 组件全面导入的障碍之一。 ■合作内容 TED 与 ITES 为提升 SiC 组件的可靠性与评估流程效率，将推动以下措施： ・开发与销售「SiC 潜在缺陷检测设备／通电劣化仿真器 ITS-SCX100」，该设备可通过 UV 雷射照射重现通电劣化，并扩展、可视化 SiC 晶圆内的潜在 BPD（预计于 2026 年 9 月开始接受订单） ・针对材料制造商、组件制造商提供评估服务及解决方案提案 ・结合潜在缺陷数据与电气特性、可靠性测试结果，提供评估与分析支持 ・通过技术研讨会、白皮书、案例内容等方式进行信息发布与市场启发 TED 将基于其在半导体晶圆检测设备开发与销售方面积累的知识，负责设备与系统端的企划与供应；而 ITES 则活用其多年来在电子零件分析解析与可靠性评估服务中培养的量测与分析技术，负责评估菜单设计及量测、数据分析。 ■「SiC 潜在缺陷检测设备／通电劣化仿真器 ITS-SCX100」的特点 1. 潜在 BPD 的晶圆层级可视化 ・通过 UV 雷射照射，可在短时间内扩展并显现 SiC 晶圆内的潜在 BPD ・能够掌握过去难以检测的缺陷在整个晶圆表面的分布情况 2. 缩短材料与制程评估的前置时间 ・在晶圆层级比较与评估因材料批量或制程条件差异所导致的缺陷分布变化 ・通过取代部分过去需耗时数月的样本测试，支持缩短开发周期与降低试产成本 3. 应用于可靠性设计与品质保证 ・结合潜在缺陷图与电气特性、可靠性测试结果，使组件不良发生原因的分析更加深入 ・可应用于材料选择、制程条件的优化，以及产品保证条件的研讨 4. 亦考虑作为评估服务提供 ・除了导入设备外，也考虑由 ITES 提供委托评估服务，以对应导入前的试用评估需求 「ITS-SCX100」的详细信息请点此 URL：https://www.inrevium.com/product/sic-latent-crystal-defect/ ■未来发展 两家公司将通过本次合作，优先创建 SiC 组件领域的潜在缺陷评估解决方案供应体制，为客户的量产品质提升做出贡献。未来，将根据市场需求，考虑扩展至其他功率组件材料及相关检测解决方案。 TED 将在数字工厂领域，针对「预知保全」、「检测自动化」、「品质不良原因调查」等主题，结合包含本次合作在内的各种解决方案，为客户生产现场的升级与稳定运作做出贡献。 关于本次合作，两家公司的评论如下。 东京威力科创组件股份有限公司 公司高级职员 运行役员 PB BU/BUGM 神本 光敬 东京威力科创组件通过在半导体晶圆检测设备领域积累的解决方案提案能力，致力于解决客户在开发与生产现场的课题。此次，通过与在电子零件分析解析及可靠性评估方面拥有丰富知识的 ITES 公司合作，我们将强化能从 SiC 组件的潜在缺陷可视化到评估、分析提供一贯支持的体制。结合两家公司的优势，我们期望能为客户的材料评估与开发流程带来效率提升，同时为高可靠性组件的开发做出贡献。 ITES 股份有限公司 代表取缔役社长 五十岚 靖行 ITES 长年来活用所积累的半导体评估与可靠性测试技术及实绩，为客户在产品开发中的品质确保与前置时间缩短做出贡献。通过本次合作，结合东京威力科创组件公司的解决方案提案能力与本公司的评估服务，我们将强化能从设计、开发到可靠性验证提供一贯支持的体制，期望能为客户的竞争力提升做出更进一步的贡献。 【关于东京威力科创组件股份有限公司】 东京威力科创组件旨在成为一家结合制造商与技术贸易商力量，解决潜在社会课题的公司，推动以半导体和 IT 为内核的最先进技术在社会中的实践。通过作为技术贸易商所积累的先进产品与服务发掘能力，以及强化制造商功能所开发