住友重机械工业于美国圣荷西设立「半导体子系统与组件研发中心」

常見問題

Q: 为什么选择在圣荷西开设据点？

A: 旨在与美国主要的半导体制造设备制造商和研究机构进行深度协作与共同研发。

Q: 洁净室的规格为何？

A: 占地150平方公尺，洁净度达Class 100，震动标准为VC-E，适用于纳米级加工技术验证。

Q: 将会开发哪些技术？

A: 开发用于次世代半导体制造设备的精密平台、运动控件及机器人技术。