荣获「2026 半导体年度大奖」半导体制造设备部门优秀奖
Key facts
- 荣获「2026 半导体年度大奖」半导体制造设备部门优秀奖
- 纽福莱科技 (NuFlare Technology) 的多电子束光罩曝光设备「MBM™-4000」荣获第 32 届「2026 半导体年度大奖」半导体制造设备部门优秀奖。该产品支持 A14 设计规则,并实现了业界顶尖的高精度性能,其技术实力备受肯定。
- Date: Thu Jun 11 2026 00:28:27 GMT+0900 (Japan Standard Time)
Direct answer
纽福莱科技 (NuFlare Technology) 的多电子束光罩曝光设备「MBM™-4000」荣获第 32 届「2026 半导体年度大奖」半导体制造设备部门优秀奖。该产品支持 A14 设计规则,并实现了业界顶尖的高精度性能,其技术实力备受肯定。
- Citation
- 荣获「2026 半导体年度大奖」半导体制造设备部门优秀奖 (Thu Jun 11 2026 00:28:27 GMT+0900 (Japan Standard Time)), PR TIMES
- Source
- PR TIMES
- Date
- Thu Jun 11 2026 00:28:27 GMT+0900 (Japan Standard Time)
尚無 AI 分析資料。
常見問題
- Q: ニューフレアテクノロジーが今回受赏した赏は何ですか?
- A: 电子デバイス产业新闻主催の第32回「半导体・オブ・ザ・イヤー2026」半导体制造装置部门における优秀赏です。
- Q: 受赏対象となった制品は何ですか?
- A: マルチ电子ビームマスク描画装置「MBM™-4000」です。
- Q: 「MBM™-4000」の特徴は何ですか?
- A: A14デザインルールに対応し、50万本の电子ビームを高速・高精度に制御して、位置精度1.1nm(3σ)、寸法精度0.5nm(3σ)を実现しています。
- Q: ニューフレアテクノロジーの过去の受赏歴はありますか?
- A: はい、「半导体・オブ・ザ・イヤー2023」において、マルチ电子ビームマスク描画装置「MBM™-2000PLUS」が半导体制造装置部门のグランプリを受赏しています。
- Q: 「MBM™-4000」はいつから贩売されていますか?
- A: 2025年から贩売を开始しています。