理学控股集团旗下株式会社理学（总部：东京都昭岛市；代表取缔役社长：川上 润，以下简称「理学」），作为X射线分析设备的全球解决方案合作伙伴，正通过利用全球研究环境，扩大次世代半导体量测技术的开发。 ▲4月9日举行的签约仪式现场 理学持续与总部设在比利时的全球半导体研发机构imec合作，并签署了一项新的三年期开发计划。通过这项合作，理学将进一步提升其内核X射线技术，包括3D组件量测、极薄膜和微量元素的高灵敏度检测，以及微小缺陷的非破坏检测等。 随着产业向GAA/CFET*1等先进结构设计转变，以及内存高密度化不断进展，半导体组件制造过程日益复杂。随之而来的是，对支持稳定量产的高精度且非破坏性量测和检测技术的需求日益增加。为响应这些需求，理学提供具有高附加价值的差异化量测解决方案。 本次开发计划将专注于以下领域： 【重点领域】 先进逻辑：支持CFET结构的量测和检测技术 光罩量测：EUV曝光*2中使用的光罩劣化评估 先进布线・封装：先进封装*3的非破坏检测 先进内存：次世代3D DRAM中微细结构的形状评估 在先进AI半导体领域，理学的量测与检测设备的潜在可服务市场（SAM）预计到2030年将达到约10亿美元。理学旨在通过陆续推出业界独有的高附加价值产品，在此成长市场中取得50%的市场份额。 加强与imec的合作是为了在这个成长市场中，提高量测与检测这一高附加价值领域的竞争优势，并促进中长期业务成长的举措。 *1：GAA/CFET：通过三维排列和结构化控制电流流动的组件（晶体管），使其更小、性能更高。 *2：EUV曝光：制造最先进半导体不可或缺的超微细电路的光技术。 *3：先进封装：将多个半导体芯片高密度组合，以提高性能和降低功耗的实装技术。 【关于理学集团】 理学集团是由一群工程师组成的团体，以X射线分析为内核，包括热分析等，利用先进的分析技术推动社会发展。 自1951年成立以来，作为工业和研究分析的解决方案合作伙伴，理学集团已与136个国家和地区的客户共同成长。在日本国内市场占有极高份额，海外销售额达到约70%。其应用领域不断扩展，从半导体、电子材料、电池、环境与能源到生命科学。全球2,000多名员工致力于实现「以视觉之力，改变世界」的创新。 更多详情请参阅rigaku-holdings.com。