HORIBA集团负责水・液体计测事业的堀场先进科技股份有限公司（总部：京都市南区吉祥院宫之东町2，代表取缔役社长：西方健太郎），于2026年3月26日发售光纤式非接触型药液浓度监测器「CS-900F」。 用于测量清洗、蚀刻等半导体制造制程中所使用药液浓度的「CS」系列，自1995年上市以来，持续因应客户需求不断进化。 新产品「CS-900F」采用只需安装于配管即可对药液进行非接触测量的方式，降低药液泄漏及污染※1的风险。通过导入光纤电缆，将分光器移至主机侧，设备内安装的电池单元体积较传统缩减约60％※2。在实现大幅小型化的同时，搭载具备高稳定性优势的内部参考※3机构，在维持降低外部干扰影响的高测量精度的同时，亦可缩减设备内的占地面积※4。 此外，还扩充了可对应的药液种类，作为「CS」系列的旗舰款，革新为兼具稳定性与通用性的机型。 光纤式非接触型药液浓度监测器「CS-900F」（左：主机，右：电池单元） 【开发背景】 半导体制造工序中的药液处理，影响表面处理的均质性等良率关键环节，因此需要对药液进行严格管理。为此，于2019年发售了无需接触配管内药液即可获得测量结果的非接触型药液浓度监测器「CS-900」。 作为其后继机型，本产品以半导体业界普遍要求的缩减占地面积为目标，采用光纤式设计，从而将安装于客户设备内的电池单元体积较传统缩减约60％。本产品活用「CS」系列上市30年所积累的技术，在贴合市场需求的同时，力求进一步扩大普及。 安装于半导体清洗设备的示意图 【产品特色】 1．兼顾小型化与稳定测量 本产品采用非接触测量方式，只需将电池单元安装于客户设备内的配管上，即可轻松使用。 通过导入以光纤电缆连接主机与电池单元的方式，原本内置于电池单元的分光器得以移至安装在客户设备外部的主机，从而将电池单元体积较传统缩减约60％。除将分光器移至主机外，电池单元内亦搭载了CS系列引以为傲的高稳定性参考※3，有助于降低振动等外部干扰影响，实现稳定测量。