AndTech株式会社(总部:神奈川县川崎市,代表董事社长:陶山正夫,以下简称AndTech)将作为研发支持Zoom课程的一部分,举办「半导体CMP技术」研讨会,以应对当前半导体CMP技术日益增长的挑战解决需求,并邀请业界顶尖讲师。 研讨会将从半导体制造中的CMP・清洗制程概述与特性开始,接着讲解「从材料・磨料制造商的角度看磨料的物性与功能关系、处理方法与注意事项」、「利用接触图像分析法及现场观察技术可视化CMP加工中接触界面浆料行为的研究成果」,以及「利用浆料Zeta电位评估分散性、晶圆Zeta电位测量方法与静电相互作用评估」。 本课程预计于2026年5月14日开课。 详情:https://andtech.co.jp/seminars/1f11e98b-a593-63b4-b280-064fb9a95405 在线直播・网络研讨会概要 ────────────────── 主题:为实现半导体微型化・高性能化的CMP技术概述与材料去除机制、研磨磨料开发与浆料分散性评估技术趋势、后清洗特性 举办日期:2026年5月14日(星期四)10:30-16:50 参加费用:60,500日圆(含税) ※预计以电子方式发放数据 网址:https://andtech.co.jp/seminars/1f11e98b-a593-63b4-b280-064fb9a95405 网络直播形式:Zoom(报名后将发送URL) 研讨会课程内容构成 ──────────── —课程与讲师— ∽∽───────────────────────∽∽ 第一部分 半导体制造中的化学机械研磨(CMP)技术概述与CMP后清洗特性 ∽∽───────────────────────∽∽ 讲师:株式会社荏原制作所 精密・电子公司 设备事业部 技术行销课 今井正芳 先生 ∽∽───────────────────────∽∽ 第二部分 CMP的材料去除机制 —基于辅助材料(研磨垫・浆料)可视化的理解— ∽∽───────────────────────∽∽ 讲师:国立大学法人东海国立大学机构 岐阜大学 工学部 机械工学科 机械课程 / 教授 亩田道雄 先生 ∽∽───────────────────────∽∽ 第三部分 氧化硅系颗粒的特性与半导体研磨应用技术 ∽∽───────────────────────∽∽ 讲师:日挥触媒化成株式会社 精密研究所MM第一研究 关键字:半导体,CMP,清洗,研磨头,浆料,氧化硅磨料,纳米颗粒,分散,研讨会,演讲