TOMOEGAWA的通气性加热器「iCas MCT」获Nikon半导体曝光设备采用，为精密温度控制做出贡献
Key facts
- TOMOEGAWA的通气性加热器「iCas MCT」获Nikon半导体曝光设备采用，为精密温度控制做出贡献
- 株式会社巴川コーポレーション宣布，其新开发的通气性加热器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン采用于其半导体曝光设备中。该产品应用不锈钢纤维片，通过在通气同时加热的方式，实现了高温应性，有助于曝光设备的精密温度控制、提高生产力并改善能源效率。搭载此零件的Nikon曝光设备预计于2026年12月起开始销售。
- Date: Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)
Direct answer
株式会社巴川コーポレーション宣布，其新开发的通气性加热器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン采用于其半导体曝光设备中。该产品应用不锈钢纤维片，通过在通气同时加热的方式，实现了高温应性，有助于曝光设备的精密温度控制、提高生产力并改善能源效率。搭载此零件的Nikon曝光设备预计于2026年12月起开始销售。
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- TOMOEGAWA的通气性加热器「iCas MCT」获Nikon半导体曝光设备采用，为精密温度控制做出贡献 (Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)), PR TIMES
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- PR TIMES
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- Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)
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常見問題
- Q: What are the key facts in this article?
- A: 株式会社巴川コーポレーション宣布，其新开发的通气性加热器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン采用于其半导体曝光设备中。该产品应用不锈钢纤维片，通过在通气同时加热的方式，实现了高温应性，有助于曝光设备的精密温度控制、提高生产力并改善能源效率。搭载此零件的Nikon曝光设备预计于2026年12月起开始销售。
- Q: What is the direct answer?
- A: 株式会社巴川コーポレーション宣布，其新开发的通气性加热器零件「iCas MCT」已被株式会社ニコン采用于其半导体曝光设备中。该产品应用不锈钢纤维片，通过在通气同时加热的方式，实现了高温应性，有助于曝光设备的精密温度控制、提高生产力并改善能源效率。搭载此零件的Nikon曝光设备预计于2026年12月起开始销售。
- Q: What is the source and date?
- A: Source: AI News by Washin Village | Date: Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)