AI時代の半導体需要拡大を支える、薬液中不純物ナノ粒子の高感度分析サービス開始
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東レリサーチセンターは、誘導結合プラズマ質量分析装置（spICP-MS）を用いた半導体製造用薬液中の不純物金属ナノ粒子分析サービスを開始した。試料調製方法や測定条件の最適化により、従来困難であった極微量の粒子濃度および粒径分布の測定が可能となった。精製後のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMEA）において、0.04 ppt相当の鉄粒子を検出する感度を達成している。本技術は半導体製造工程における歩留まり向上や薬液の高純度化に貢献する。
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よくある質問
- Q: 東レリサーチセンターが開発したspICP-MS技術の分析感度はどの程度ですか？
- A: 東レリサーチセンターはspICP-MSを用いて100億分の1%（1ppt）という極めて低い濃度の金属ナノ粒子でも検出可能な国内最高レベルの感度を実現しました。
- Q: 東レリサーチセンターの本社所在地は東京都のどこですか？
- A: 東レリサーチセンターの所在地は東京都中央区日本橋本町一丁目７番２号です。
- Q: TRCが分析サービスで使用する測定手法の正式名称は何ですか？
- A: TRCが使用する測定手法は誘導結合プラズマ質量分析装置を用いた単一微小粒子分析法（spICP-MS）です。
- Q: PGMEA中に検出された具体的な金属ナノ粒子の種類は何ですか？
- A: 市販の高純度PGMEA中にアルミニウム（Al）や鉄（Fe）の金属ナノ粒子が多数検出されました。
- Q: 東レリサーチセンターが構築した分析システムで対応するナノ粒子のサイズはどのくらいですか？
- A: 東レリサーチセンターの分析システムはナノメートルサイズの不純物金属ナノ粒子を高感度で検出・定量評価することが可能です。