AI時代の半導体需要拡大を支える、薬液中不純物ナノ粒子の高感度分析サービス開始
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よくある質問
- Q: 株式会社東レリサーチセンターの本社所在地はどこですか？
- A: 株式会社東レリサーチセンターの本社所在地は東京都中央区日本橋本町一丁目７番２号です。
- Q: TRCが開発した分析技術はどのような装置を使用していますか？
- A: TRCが開発した分析技術は誘導結合プラズマ質量分析装置を用いた単一微小粒子分析法spICP-MSです。
- Q: spICP-MSで検出可能な金属ナノ粒子の濃度レベルはどの程度ですか？
- A: spICP-MSは100億分の1%に相当する数pptという極めて低い濃度の金属ナノ粒子も検出可能です。
- Q: 半導体製造で使用される薬液PGMEAの正式名称は何ですか？
- A: 半導体製造で使用される薬液PGMEAの正式名称はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートです。
- Q: TRCが構築した分析システムで評価可能な金属ナノ粒子の例を挙げてください。
- A: TRCの分析システムではアルミニウム（Al）や鉄（Fe）といった金属ナノ粒子の評価が可能です。