住友重機械工業、米国サンノゼに「Semiconductor Subsystems and Components R&D Center」を開設
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AI サマリー（NQ 加工済み）
住友重機械工業が米国サンノゼに半導体製造装置の共同開発拠点を開設した。米国のパートナーと連携し、次世代技術の高度化と事業拡大を目指す。
AI 分析
よくある質問
- Q: なぜサンノゼに拠点を開設したのですか？
- A: 米国の主要な半導体装置メーカーや研究機関との共創を推進するためです。
- Q: クリーンルームの性能はどの程度ですか？
- A: 面積150m2、Class 100、振動基準VC-Eという最先端ナノ加工に適した環境です。
- Q: どのような技術を開発しますか？
- A: 精密ステージ、モーションコンポーネント、ロボット技術などの次世代半導体製造装置向け技術です。