MECCANISMO・LAB、120℃・大気圧でのウエハ接合を実現 NIMS保有技術をベースに6インチ対応全自動接合装置を開発
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MECCANISMO・LABがNIMSの低温・大気圧接合技術を基盤に、120℃・大気圧で動作する6インチウエハ対応全自動接合装置を開発し、実用化に向けた検証を開始しました。これにより、従来の課題であった熱に弱い材料や異種材料の接合が可能になります。