MECCANISMO・LAB、120℃・大気圧でのウエハ接合を実現 NIMS保有技術をベースに6インチ対応全自動接合装置を開発
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MECCANISMO・LAB 成功開發基於 NIMS 技術的 6 吋全自動晶圓鍵合裝置，實現 120℃ 大氣壓下之低溫接合。
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よくある質問
- Q: MECCANISMO・LABが開発した6インチ対応全自動接合装置は、何℃での大気圧接合を実現していますか
- A: MECCANISMO・LABの装置は120℃での大気圧下におけるウエハ接合を実現しています
- Q: MECCANISMO・LABのウエハ接合装置は、どの機関が保有する技術をベースに開発されましたか
- A: この装置は物質・材料研究機構（NIMS）が保有する技術をベースに開発されました
- Q: MECCANISMO・LABが開発した全自動ウエハ接合装置は、何インチのウエハに対応していますか
- A: MECCANISMO・LABの装置は6インチ（6吋）のウエハに対応する全自動装置です
- Q: MECCANISMO・LABの開発した低温接合技術は、どのような環境条件下で動作しますか
- A: この技術は120℃かつ大気圧の環境条件下でウエハ接合を行うことができます
- Q: MECCANISMO・LABが実現したウエハ接合の特徴として、温度と圧力の条件は何ですか
- A: ウエハ接合は120℃の低温かつ大気圧の条件下で実現されており、低エネルギー接合が可能