住友重機械独自技術のRPD法が、極薄酸化亜鉛透明導電膜の成膜に貢献
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住友重機械工業と高知工科大学は、独自のRPD法を用いて、世界で初めて厚さ10ナノメートルの結晶状態の酸化亜鉛(ZnO)透明導電膜をガラス基板上に形成する技術を開発した。