光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」とは何ですか？

「CS-900F」は、株式会社堀場アドバンスドテクノが開発した、光ファイバー式の非接触型薬液濃度モニターです。半導体製造プロセスにおける洗浄やエッチングに使用される薬液の濃度を、配管に触れることなく高精度に測定することを目的としています。

「CS-900F」の発売日はいつですか？

「CS-900F」は、2026年3月26日に発売されます。

「CS-900F」の主な特長や、従来製品からの改善点は何ですか？

主な特長は、光ファイバーケーブルの導入によりセルユニットの体積を従来比で約60%削減した大幅な小型化です。また、安定性に強みを持つ内部リファレンス機構を搭載し、高い測定精度を維持します。さらに、対応可能な薬液の種類も拡充され、波長域が従来比約3倍に拡張されました。非接触測定により、薬液漏れやコンタミネーションのリスクも低減します。

「CS-900F」はどのような薬液の測定に対応していますか？

「CS-900F」は、最高80℃までの高温薬液を含め、幅広い種類の薬液測定に対応しています。標準的なSC-1（アンモニア過酸化水素水溶液）だけでなく、硝酸、リン酸、酢酸の混合液などの複雑かつ危険な薬液も、前処理なしで直接測定が可能です。

光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」を発売

AI サマリー（NQ 加工済み）

堀場製作所が光ファイバー式薬液濃度モニター「CS-900F」を発売

AI 分析

これが意味すること

半導体製造プロセスにおける薬液管理の効率化と精度向上に貢献する新製品が登場したことを意味します。装置の小型化は設置スペースの制約を軽減し、対応薬液の拡充は多様なプロセスへの適用を可能にします。

業界への示唆

半導体製造業界では、より高度なプロセス制御と品質管理が求められており、高精度な薬液濃度モニターの需要が高まると考えられます。

競合環境

薬液濃度モニター市場では、様々なメーカーが競合しており、堀場製作所は小型化や対応薬液の拡充といった差別化戦略で優位性を確立しようとしています。

マーケットシグナル

半導体市場の成長に伴い、製造プロセスで使用される薬液の管理技術への投資が活発化していることを示唆しています。

予測

今後3-6ヶ月以内に、半導体メーカーからのCS-900Fに関する問い合わせや導入事例が増加する可能性があります。

よくある質問

Q: 光ファイバー式非接触型薬液濃度モニター「CS-900F」とは何ですか？: A: 「CS-900F」は、株式会社堀場アドバンスドテクノが開発した、光ファイバー式の非接触型薬液濃度モニターです。半導体製造プロセスにおける洗浄やエッチングに使用される薬液の濃度を、配管に触れることなく高精度に測定することを目的としています。
Q: 「CS-900F」の発売日はいつですか？: A: 「CS-900F」は、2026年3月26日に発売されます。
Q: 「CS-900F」の主な特長や、従来製品からの改善点は何ですか？: A: 主な特長は、光ファイバーケーブルの導入によりセルユニットの体積を従来比で約60%削減した大幅な小型化です。また、安定性に強みを持つ内部リファレンス機構を搭載し、高い測定精度を維持します。さらに、対応可能な薬液の種類も拡充され、波長域が従来比約3倍に拡張されました。非接触測定により、薬液漏れやコンタミネーションのリスクも低減します。
Q: 「CS-900F」はどのような薬液の測定に対応していますか？: A: 「CS-900F」は、最高80℃までの高温薬液を含め、幅広い種類の薬液測定に対応しています。標準的なSC-1（アンモニア過酸化水素水溶液）だけでなく、硝酸、リン酸、酢酸の混合液などの複雑かつ危険な薬液も、前処理なしで直接測定が可能です。