2インチウエハ製作用モザイク結晶開発のお知らせ
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AI サマリー（NQ 加工済み）
株式会社イーディーピーが2インチダイヤモンドウエハ製作用のモザイク結晶開発に成功。
AI 分析
よくある質問
- Q: 今回開発されたモザイク結晶のサイズは？
- A: 53×53×1.2mmのサイズで開発されました。
- Q: なぜ2インチウエハが必要なのですか？
- A: 半導体デバイスの製造プロセスにおいて、2インチが現実的な最低サイズであり、ダイヤモンド半導体の開発や少量生産に不可欠だからです。
- Q: 大型化における最大の技術的課題は何でしたか？
- A: 単結晶を接合する際、結晶粒界付近に発生する応力によってモザイク結晶が割れたり亀裂が入ったりする現象が課題でした。
- Q: 今後の量産計画はどのようになっていますか？
- A: 本年度下期に量産体制を整える予定ですが、研磨時間の短縮が急務となっており、装置開発のための資金調達を検討しています。
- Q: 次の開発目標は何ですか？
- A: 100×100mm以上のモザイク結晶を用いた4インチモザイクウエハの開発を目指しています。