清華大学が光フィラメンテーション機構を発見 アト秒パルスで半導体材料検査を支援
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国立清華大学電機工程学系の研究チームが「光絲化」メカニズムを利用し、半導体材料検査に活用できる高品質なアト秒パルスを生成することに成功しました。これは、レーザー光を自然に圧縮し、超高速ストロボのように電子の動きを捉えることで、半導体製造の先進プロセスにおける材料検査を可能にします。