TSMC魏哲家氏、High-NA EUV購入を認めるも量産はコスト高のため見送り
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TSMCの魏哲家董事長兼CEOは、株主総会で同社がHigh-NA EUV露光装置を購入したことを明らかにした。しかし、コストが高いため、現時点では生産ラインには導入せず、研究開発に使用していると説明した。また、今年の設備投資は560億ドルに傾いており、将来の成長に自信を示した。