TOMOEGAWAの通気性ヒーターがニコンの半導体露光装置に採用
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Key facts
- TOMOEGAWAの通気性ヒーターがニコンの半導体露光装置に採用
- TOMOEGAWA開發的通氣性加熱器「iCas MCT」，獲Nikon公司採用於其新款半導體曝光裝置，將有助於提升設備的溫度控制精度與能源效率。
- Source: PR TIMES
- Date: Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)
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TOMOEGAWA開發的通氣性加熱器「iCas MCT」，獲Nikon公司採用於其新款半導體曝光裝置，將有助於提升設備的溫度控制精度與能源效率。
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- TOMOEGAWAの通気性ヒーターがニコンの半導体露光装置に採用 (Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)), PR TIMES
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- PR TIMES
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- Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)
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TOMOEGAWA開發的通氣性加熱器「iCas MCT」，獲Nikon公司採用於其新款半導體曝光裝置，將有助於提升設備的溫度控制精度與能源效率。
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よくある質問
- Q: What are the key facts in this article?
- A: TOMOEGAWA開發的通氣性加熱器「iCas MCT」，獲Nikon公司採用於其新款半導體曝光裝置，將有助於提升設備的溫度控制精度與能源效率。
- Q: What is the direct answer?
- A: TOMOEGAWA開發的通氣性加熱器「iCas MCT」，獲Nikon公司採用於其新款半導體曝光裝置，將有助於提升設備的溫度控制精度與能源效率。
- Q: What is the source and date?
- A: Source: https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000018.000083295.html | Date: Tue May 19 2026 00:08:32 GMT+0900 (Japan Standard Time)