TOMOEGAWAの通気性ヒーター「iCas MCT」がニコンの半導体露光装置に採用、精密な温度制御に貢献

AI サマリー（NQ 加工済み）

TOMOEGAWA開發的通氣性加熱器「iCas MCT」，獲Nikon公司採用於其新款半導體曝光裝置，將有助於提升設備的溫度控制精度與能源效率。