液温変化による流量誤差を低減。80種類の薬液に対応した液体用流量計を発売
Key facts
- 液温変化による流量誤差を低減。80種類の薬液に対応した液体用流量計を発売
- Regal Joint Co., Ltd. is launching the "Multi-Flow R™" liquid flow meter, designed to reduce flow errors caused by liquid temperature fluctuations. Featuring a New PFA wetted structure and temperature compensation, it supports about 80 types of chemicals, enhancing stability and quality in semiconductor manufacturing and other industrial processes.
- Source: PR TIMES
- Date: Tue Jun 09 2026 19:01:02 GMT+0900 (Japan Standard Time)
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Regal Joint Co., Ltd. is launching the "Multi-Flow R™" liquid flow meter, designed to reduce flow errors caused by liquid temperature fluctuations. Featuring a New PFA wetted structure and temperature compensation, it supports about 80 types of chemicals, enhancing stability and quality in semiconductor manufacturing and other industrial processes.
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- PR TIMES
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- Tue Jun 09 2026 19:01:02 GMT+0900 (Japan Standard Time)
AI サマリー（NQ 加工済み）
Regal Joint Co., Ltd. is launching the "Multi-Flow R™" liquid flow meter, designed to reduce flow errors caused by liquid temperature fluctuations. Featuring a New PFA wetted structure and temperature compensation, it supports about 80 types of chemicals, enhancing stability and quality in semiconductor manufacturing and other industrial processes.
AI 分析
よくある質問
- Q: マルチフローR™はどのような課題を解決しますか？
- A: 液温変化による流量誤差や、薬液に応じた接液部材質の選定といった半導体製造装置や薬液供給設備における課題を解決します。
- Q: マルチフローR™の主な特徴は何ですか？
- A: 温度センサー搭載による自動温度補正機能、New PFA接液部による約80種類の薬液への対応、コンパクト設計、可動部・オーリングレス構造などが特徴です。
- Q: どのような薬液に対応していますか？
- A: 約80種類の薬液に対応しており、詳細な対応薬液一覧は製品情報で確認できます。
- Q: いつから出荷が開始されますか？
- A: 製品の発売は2026年6月15日を予定していますが、出荷開始は2026年夏以降となる見込みです。
- Q: どのような産業分野での活用が期待されますか？
- A: 半導体製造装置メーカーをはじめ、薬液や純水を使用する産業装置メーカーなどでの活用が期待されています。