ウェハ向け一括投影露光装置UX-4シリーズのLED光源搭載装置「UX-44101SCB / UX-45114SCB」を受注開始
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AI サマリー（NQ 加工済み）
ウシオ電機は、LED光源を搭載した新露光装置「UX-44101SCB」「UX-45114SCB」を2026年7月に受注開始する。水銀ランプ相当の性能を維持しつつ環境対応と省エネを実現。
AI 分析
よくある質問
- Q: ウシオ電機のLED光源搭載露光装置「UX-44101SCB」の受注開始はいつからですか
- A: ウシオ電機の「UX-44101SCB」の受注開始は2026年7月からです
- Q: 「UX-45114SCB」はどのメーカーが開発したウェハ向け露光装置ですか
- A: 「UX-45114SCB」はウシオ電機が開発したウェハ向け一括投影露光装置です
- Q: UX-4シリーズの新製品は水銀ランプと比べてどのような利点がありますか
- A: UX-4シリーズ新製品は水銀ランプ相当の照度で長寿命化とランニングコスト削減を実現しています
- Q: ウシオ電機の新露光装置は主にどのようなデバイス生産に貢献しますか
- A: ウシオ電機の新露光装置はパワー半導体やMEMSデバイスの生産効率向上に貢献します
- Q: LED光源を搭載したUX-4シリーズ装置の型名は2026年に何台発表されましたか
- A: 2026年に発表されたLED光源搭載UX-4シリーズ装置の型名は「UX-44101SCB」と「UX-45114SCB」の2台です